具有场导正层薄膜电容器及其制造方法

摘要

本发明揭示一种用以制造一电容器之方法包含：提供一含金属下电极(12)、制造一在该含金属下电极(12)上之电容器绝缘体(14)、制造一在该电容器绝缘体(14)上之含金属上电极(18)，以及制造一在该电容器绝缘体(14)上而且至少部分围绕该含金属上电极(18)之含介电质场导正层(22)。制造该含介电质场导正层(22)可包含氧化该含金属场导正层(18)的一侧壁(22)。于制造该含金属上电极(18)前，可在该电容器绝缘体(14)上制造一阻障层(16)。