发明名称 |
基于奈米管基板之积体电路 |
摘要 |
碳奈米管材料用于一积体电路基板中。根据一实例实施例,一积体电路配置(100)包括一其中具有一碳奈米管结构(120)之基板(110)。该碳奈米管结构系以多种方式中之一或多者配置以提供结构支撑及/或热导率。在某些实例中,该碳奈米管结构经配置以向一积体电路配置提供大体所有结构支撑。在其它实例中,该碳奈米管结构经配置以在整个基板中散热。在又其它实例中,该碳奈米管结构经配置以自该碳奈米管基板之选定部分去除热。 |
申请公布号 |
TWI388042 |
申请公布日期 |
2013.03.01 |
申请号 |
TW094138359 |
申请日期 |
2005.11.01 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
发明人 |
克里斯 威蓝德 |
分类号 |
H01L23/48 |
主分类号 |
H01L23/48 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |