发明名称 基于奈米管基板之积体电路
摘要 碳奈米管材料用于一积体电路基板中。根据一实例实施例,一积体电路配置(100)包括一其中具有一碳奈米管结构(120)之基板(110)。该碳奈米管结构系以多种方式中之一或多者配置以提供结构支撑及/或热导率。在某些实例中,该碳奈米管结构经配置以向一积体电路配置提供大体所有结构支撑。在其它实例中,该碳奈米管结构经配置以在整个基板中散热。在又其它实例中,该碳奈米管结构经配置以自该碳奈米管基板之选定部分去除热。
申请公布号 TWI388042 申请公布日期 2013.03.01
申请号 TW094138359 申请日期 2005.11.01
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 发明人 克里斯 威蓝德
分类号 H01L23/48 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号