热处理装置

摘要

(课题)在进行无载置方式之热处理时，能以廉价成本提早且确实地检测在炉内发生的被处理物破裂。;(解决手段)使沿搬送路径配置在搬送滚柱2之下方的各复数个耐热玻璃32之一部份露出炉外作为露出部5，并配置振动感测器4于该露出部5。根据振动感测器4之检测信号，检测被搬送物之一部分因破裂之发生而往耐热玻璃32上落下。此时，停止搬送滚柱2旋转。