镍合金靶材之制造方法

摘要

本发明镍合金靶材之制造方法系将镍金属及至少一合金元素真空熔炼成一合金溶液，再雾化形成镍合金粉体，接着筛分选取小于一设定粒度之镍合金粉体，最后成型为镍合金靶材。本发明不需使用昂贵之Ni及W粉体为原料、不需昂贵之电浆烧结设备进行烧结，并且不需经冷轧制程及再结晶退火处理，即可快速、大量制备制得镍合金靶材，故制造方法简单且可减少制造时间。再者，本发明制造方法所制得之镍合金靶材无成分偏析、具细致晶粒、晶粒分布均匀且完全合金化，故具有较高之溅镀品质。