具有终点窗孔之抛光垫及使用其之系统及方法

摘要

本发明揭示一种抛光垫，其包含一贯穿其中之路径，以透射一信号用于在原位监控一抛光操作之一终点。在一实施例中，该抛光垫包含一抛光组合物分布层，其位于一导向板之一第一侧面；及一支撑层，其位于一导向板之一相对的第二侧面。该导向板夹持复数个抛光元件，其沿大体垂直于一包含该抛光垫之平面之一第一方向并贯穿该抛光组合物分布层而延伸。该抛光垫包含一沿该第一方向且贯穿该垫之一厚度之光学路径。