发明名称 |
发射紫外光和/或真空紫外辐射的无电极灯及方法 |
摘要 |
一种用于发射紫外光及/或真空紫外辐射之无电极灯与方法系包含:一封壳,由一超纯及/或低缺陷的石英材料所形成;及,一紫外光及/或真空紫外光发射性材料,配置于封壳之内部区域。由超纯及/或低缺陷的石英材料所形成之无电极灯系使得于使用期间之退化为最小。 |
申请公布号 |
TWI387994 |
申请公布日期 |
2013.03.01 |
申请号 |
TW094131089 |
申请日期 |
2005.09.09 |
申请人 |
艾克塞利斯科技公司 美国 |
发明人 |
亚伦 杰诺斯;马寇姆 帕克;摩哈马德 卡马瑞希;麦可 寇森 |
分类号 |
H01J65/08 |
主分类号 |
H01J65/08 |
代理机构 |
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代理人 |
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼 |
主权项 |
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地址 |
美国 |