透明导电膜制造用之氧化物烧结体

摘要

本发明提供一种于平面显示器用显示电极等所使用之ITO系非晶质透明导电膜，于基板未加热而溅镀时无须添加水即可进行制造，能高度满足高蚀刻性与低电阻率两者。系以氧化铟为主成分，并含有选自镍、锰、铝以及锗中1种以上做为第一添加元素，第一添加元素之含量合计相对于铟与第一添加元素之合计量为2～12原子%。