使用乙烯醚交联剂的抗反射涂层

摘要

本发明提供一种新颖、可湿式显像的抗反射涂覆组成物与使用彼等组成物的方法。该等组成物包括具有酸官能基且与交联剂和光酸产生剂一起溶解于溶剂系统内的聚合物及/或低聚物。较佳的酸官能基为羧酸，而较佳的交联剂为乙烯醚交联剂。于使用中，系将该等组成物涂布到一基板之上且予以热交联。于曝光之后，固化过的组成物会脱交联，使彼等可溶于典型的光阻剂显像溶液之内(例如，硷性显像剂)。