测试插座之制作方法及其所使用的弹性测试探针

摘要

本发明提供一种测试插座之制作方法及其所使用的弹性测试探针，包含：提供一非金属材质之基板；披覆至少一牺牲层在基板上；披覆至少一光阻层在牺牲层上；在光阻层进行光微影制程以移除部分的光阻层，藉以形成复数个柱状凸起；在前述之复数个柱状凸起的表面披覆一层表面金属层，藉以形成复数个弹性测试探针；提供一插座本体，其具有对应于前述之复数个弹性测试探针的复数个开口；移除牺牲层，以取下测试插座，且其已套入前述之复数个弹性测试探针；各弹性测试探针具有以光阻材料形成的弹性本体与可导电的表面。