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发明名称
处理液与施加钝化层的方法
摘要
本发明揭示一种用于半导体晶圆之处理液,其包含水、钝化试剂及表面活性剂。该处理液可或与一清洗流体、冲洗流体混合或与一乾燥蒸气混合,且用在使用一Marangoni乾燥器之清洗装置中。
申请公布号
TWI388010
申请公布日期
2013.03.01
申请号
TW095118547
申请日期
2006.05.25
申请人
飞思卡尔半导体公司 美国
发明人
赛巴斯丁 派特德狄耶;杰诺斯 法卡斯
分类号
H01L21/321;C11D11/00
主分类号
H01L21/321
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
美国
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