发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UN DISPOSITIF A TRANSISTORS CONTRAINTS PAR SILICIURATION DES ZONES DE SOURCE ET DE DRAIN
摘要 <p>La présente demande concerne un procédé de réalisation d'un dispositif microélectronique à transistors dans lequel on forme pour certains transistors des zones de source et de drain siliciurées exerçant une contrainte sur le canal.</p>
申请公布号 FR2979480(A1) 申请公布日期 2013.03.01
申请号 FR20110057532 申请日期 2011.08.25
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 NEMOUCHI FABRICE;GERGAUD PATRICE;POIROUX THIERRY;PREVITALI BERNARD
分类号 H01L21/337;H01L21/04 主分类号 H01L21/337
代理机构 代理人
主权项
地址