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Eine Vorrichtung zur Bestimmung einer durch Wechselwirkung mit einer Probe hervorgerufenen Ablenkung des Sondenstrahls umfasst eine Oszillatoreinheit, welche den Sondenstrahl und eine Detektoreinheit relativ zueinander periodisch auslenkt. Die Detektoreinheit ist derart eingerichtet, dass sich die von dem Sondenstrahl überdeckte sensitive Oberfläche der Detektoreinheit und damit das entsprechende Messsignal bei relativer Auslenkung des Sondenstrahls und der Detektoreinheit nichtlinear als Funktion der Auslenkung ändert. Eine Auswertung des Detektorsignals auf Basis einer Fourier-Spektralanalyse und der Theorie der Second Harmonics Generation ermöglicht dann die Bestimmung kleinster durch Wechselwirkung mit der Probe hervorgerufener Strahlverschiebungen mit hoher Dynamik. In einer alternativen Ausführung wird anstelle der Strahlauslenkung die zu vermessende Wirkung der Probe periodisch moduliert.
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