发明名称 Interferometrischer Drucksensor
摘要 Ein interferometrischer Drucksensor 1, umfasst einen Messmembrankörper 2 mit einer Messmembran mit einer ersten druckabhängig auslenkbaren Reflexionsfläche 8; und einen zumindest teilweise transparenten Gegenkörper 3, wobei der Messmembrankörper 2 mit dem Gegenkörper 3 druckdicht verbunden ist, wobei der Gegenkörper 3 mindestens eine zweite, teilreflektierende Reflexionsfläche 9 parallel zur ersten Reflexionsfläche mit druckabhängigem Abstand dazu aufweist, wobei der Gegenkörper 3 eine dritte, teilreflektierende Reflexionsfläche 10 mit temperaturabhängigem Abstand zur zweiten Reflexionsfläche aufweist, wobei der Gegenkörper 3 einen ersten, teiltransparenten Teilkörper und einen zweiten Teilkörper aufweist, der mit dem ersten Teilkörper fest verbunden ist, wobei der erste Teilkörper zwei zumindest abschnittsweise planparallelen Grenzflächen aufweist, von denen eine erste die zweite 9 Reflexionsfläche aufweist und eine zweite die dritte Reflexionsfläche 10 aufweist, wobei die erste 8, zweite 9 und die dritte Reflexionsfläche 10 durch den zweiten Teilkörper hindurch im senkrechten Einfall beleuchtbar sind.
申请公布号 DE102011081651(A1) 申请公布日期 2013.02.28
申请号 DE20111081651 申请日期 2011.08.26
申请人 ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG 发明人 SCHLACHTER, MARC
分类号 G01L11/02;B81B3/00;G01B11/14 主分类号 G01L11/02
代理机构 代理人
主权项
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