摘要 |
Ein interferometrischer Drucksensor 1, umfasst einen Messmembrankörper 2 mit einer Messmembran mit einer ersten druckabhängig auslenkbaren Reflexionsfläche 8; und einen zumindest teilweise transparenten Gegenkörper 3, wobei der Messmembrankörper 2 mit dem Gegenkörper 3 druckdicht verbunden ist, wobei der Gegenkörper 3 mindestens eine zweite, teilreflektierende Reflexionsfläche 9 parallel zur ersten Reflexionsfläche mit druckabhängigem Abstand dazu aufweist, wobei der Gegenkörper 3 eine dritte, teilreflektierende Reflexionsfläche 10 mit temperaturabhängigem Abstand zur zweiten Reflexionsfläche aufweist, wobei der Gegenkörper 3 einen ersten, teiltransparenten Teilkörper und einen zweiten Teilkörper aufweist, der mit dem ersten Teilkörper fest verbunden ist, wobei der erste Teilkörper zwei zumindest abschnittsweise planparallelen Grenzflächen aufweist, von denen eine erste die zweite 9 Reflexionsfläche aufweist und eine zweite die dritte Reflexionsfläche 10 aufweist, wobei die erste 8, zweite 9 und die dritte Reflexionsfläche 10 durch den zweiten Teilkörper hindurch im senkrechten Einfall beleuchtbar sind.
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