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Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Schichtsystems für ein mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelements mit folgenden Verfahrensschritten: a) auf ein Basissubstrat (BS), das zumindest eine Schicht umfaßt, wird eine Wachstumsschicht (WS) aufgebracht, b) auf die Wachstumsschicht wird eine piezoelektrische Schicht (PS) aufgebracht, c) auf die piezoelektrische Schicht wird ein funktioneller Schichtaufbau (SU) aufgebracht, d) das Basissubstrat wird entfernt, e) die Wachstumsschicht (WS) wird entfernt.
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