Strömumgssensor zur Bestimmung eines Strömungsparameters und Verfahren zur Bestimmung desselben

摘要

In Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung ist ein Strömungssensor zur Bestimmung eines Strömungsparameters eines Fluides gezeigt, mit einem Sensorchip, der mindestens ein thermisches Membransensorelement aufweist, das ausgebildet ist, um den Strömungsparameter des Fluides in einem Messbereich zu bestimmen oder um eine Fluidtemperatur des Fluides zu bestimmen, wobei das thermische Membransensorelement zwei zueinander beabstandete Thermoelementübergänge und ein zwischen den Thermoelementübergängen angeordnetes Heizelement aufweist, und wobei der Sensorchip ausgebildet ist, um beim Betrieb des Strömungssensors als freistehender Sensorfinger von dem Fluid umströmt zu werden.