发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Druckschablone für den technischen Druck zum Aufbringen eines Druckmusters auf ein Substrat und Druckschablone für den technischen Druck
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Druckschablone für den technischen Druck zum Aufbringen eines Druckmusters auf ein Substrat und eine Druckschablone. Das Verfahren umfasst Bereitstellen einer Trägerschicht 21 der Druckschablone, Bereitstellen einer unter der Trägerschicht 21 liegenden Strukturschicht 22 der Druckschablone, Herausarbeiten einer sich länglich erstreckenden, zumindest einem Teil des Druckmusters entsprechenden Druckbildöffnung 22a in der Strukturschicht 22, und Herausarbeiten von Trägerschichtöffnungen 21a in der Trägerschicht 21 im Bereich der Druckbildöffnung 22a. Das Verfahren ist gekennzeichnet dadurch, dass bei dem Herausarbeiten der Trägerschichtöffnungen 21a eine Laservorrichtung verwendet wird, die dazu eingerichtet ist, einen Laserstrahl in Laserpulsen abzugeben, und das Herausarbeiten der Trägerschichtöffnungen 21 das Herausarbeiten einer sich in Längsrichtung der Druckbildöffnung erstreckenden Reihe von Trägerschichtöffnungen 21a umfasst, wobei bei dem Herausarbeiten einer jeweiligen Trägerschichtöffnung 21 der Reihe eine Fokussiereinrichtung der Laservorrichtung an einer Position der jeweiligen Trägerschichtöffnung 21 positioniert wird und die jeweilige Trägerschichtöffnung 21 mittels eines oder mehrerer Laserpulse an dieser Position P1 herausgearbeitet wird, und die Fokussiereinrichtung der Laservorrichtung nach Herausarbeiten einer Trägerschichtöffnung zwischen zwei aufeinanderfolgenden Laserpulsen von der Position P1 der herausgearbeiteten Trägerschichtöffnung 21a relativ zu der Trägerschicht und in Längsrichtung der länglichen Druckbildöffnung 22a zu der Position P2 der nachfolgend herauszuarbeitenden Trägerschichtöffnung verfahren wird.
申请公布号 DE102011081837(A1) 申请公布日期 2013.02.28
申请号 DE20111081837 申请日期 2011.08.30
申请人 CHRISTIAN KOENEN GMBH 发明人 KOENEN, CHRISTIAN
分类号 B41C1/14;B41N1/24;H01L31/18 主分类号 B41C1/14
代理机构 代理人
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