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发明名称
METHOD FOR ENHANCING ADHESION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
EP1788115(A4)
申请公布日期
2013.02.27
申请号
EP20040772959
申请日期
2004.09.06
申请人
CANON MACHINERY INC.
发明人
SAWADA, HIROSHI;KAWAHARA, KOSUKE
分类号
C23C16/02;B23K26/00;C23F4/02
主分类号
C23C16/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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