发明名称 |
一种等离子真空镀膜室 |
摘要 |
本实用新型公开了一种等离子真空镀膜室,其特征在于,镀膜室内设有金属网罩,金属网罩设有电子逃逸口,所述金属网罩通过一横向贯穿的金属棒将其固定于镀膜室内,所述金属棒与高脉冲电源电连接,其两端搭通过玻璃砖固定在支架上,所述金属棒与玻璃砖之间连接方式为搭接,搭接处存有的间隙填充有铝箔。本实用新型通过在金属网罩上设置电子逃逸口,可以将电子从某一固定方向释放出来,从而避免了电荷在工件、网罩、玻璃砖上的积累,可以显著减少打火的次数。玻璃砖通过开设小孔使其自身在高温下不会爆裂;通过在金属棒和玻璃砖之间填充铝箔,可以有效缓解空心阴极造成的打火现象。 |
申请公布号 |
CN202755057U |
申请公布日期 |
2013.02.27 |
申请号 |
CN201220442156.1 |
申请日期 |
2012.08.31 |
申请人 |
合肥永信等离子技术有限公司 |
发明人 |
李灿民;陶满;陶圣全 |
分类号 |
C23C16/50(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/50(2006.01)I |
代理机构 |
安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 |
代理人 |
何梅生;王伟 |
主权项 |
一种等离子真空镀膜室,其特征在于,镀膜室内设有金属网罩,金属网罩设有电子逃逸口,所述金属网罩通过一横向贯穿的金属棒将其固定于镀膜室内,所述金属棒与镀膜室外高脉冲电源电连接,其两端通过玻璃砖固定在支架上,所述金属棒与玻璃砖之间连接方式为搭接,搭接处存有的间隙填充有铝箔。 |
地址 |
230041 安徽省合肥市庐阳区天水路11号百帮创业园9#楼一楼 |