| 发明名称 |
RUTHENIUM-CONTAINING PRECURSORS FOR CVD AND ALD |
| 摘要 |
<p>Disclosed are ruthenium-containing precursors and methods of using the same in CVD and ALD.</p> |
| 申请公布号 |
EP2561115(A1) |
申请公布日期 |
2013.02.27 |
| 申请号 |
EP20110771667 |
申请日期 |
2011.04.12 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
GATINEAU, SATOKO |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/16;C23C16/18;C23C16/30;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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