一种具有永磁重力支撑结构的微动台

摘要

一种具有永磁重力支撑结构的微动台，主要用于光刻机工件台系统中。该微动台包括微动台定子、微动台动子以及至少三个永磁重力支撑单元，所述的至少三个永磁重力支撑单元绕微动台的Z轴均布在微动台边缘；每个永磁重力支撑单元含有固定部分和支撑部分；所述固定部分是空心圆柱永磁体，其空心圆柱永磁体沿轴向充磁下底面为S极，上底面为N极；支承部分由两个同轴，沿半径并指向圆心方向充磁的圆环永磁体组成；固定部分的空心圆柱永磁体与双层圆环永磁体同轴布置，并位于所述的双层圆环永磁体上方。本发明所述支承结构能够降低行程范围内沿轴线方向的刚度，同时提高承载能力。

主权项

一种具有永磁重力支撑结构的微动台，微动台包括微动台定子和微动台动子，其特征在于：该微动台还包括至少三个永磁重力支撑单元，所述的至少三个永磁重力支撑单元绕微动台的Z轴均布在微动台边缘；每个永磁重力支撑单元含有固定部分和支撑部分，所述的固定部分由一个空心圆柱永磁体（1）和一个磁钢芯轴（4）组成，空心圆柱永磁体（1）粘接在磁钢芯轴（4）上，所述空心圆柱永磁体（1）的充磁方向沿圆柱轴向方向，下底面为S极，上底面为N极；所述支承部分由一个内圆环永磁体（2）、一个外圆环永磁体（3）和一个磁钢骨架（5）组成，所述的两个圆环永磁体同轴粘接在磁钢骨架（5）上，两个圆环永磁体的充磁方向沿半径并指向圆心方向；所述的固定部分的空心圆柱永磁体（1）与内圆环永磁体（2）和外圆环永磁体（3）同轴布置，并位于所述的两个圆环永磁体上方；每一个永磁重力支撑单元的固定部分的空心圆柱永磁体（1）通过磁钢芯轴（4）连接在微动台定子上，该永磁重力支撑单元的支撑部分的内圆环永磁体（2）和外圆环永磁体（3）通过磁钢骨架（5）连接在微动台动子上。