新型微型热电发生器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种新型微型热电发生器及其制造方法，其包括基板；所述基板内设有若干贯通基板的隔热腔；基板一侧表面上设置支撑层，所述支撑层上设有若干交替分布的N型热电材料区及P型热电材料区；支撑层上相邻交替分布的N型热电材料区与P型热电材料区通过导电层连接成等电位，并在支撑层上串接形成热电材料体，所述热电材料体的两端均设置电连接的键合电极；热电材料体上淀积有电绝缘层，所述电绝缘层覆盖热电材料体上；电绝缘层上淀积导热层，所述导热层的两侧设有隔热部；导热层上设有第一封装体，基板对应设置支撑层的另一侧设有第二封装体。本发明结构紧凑，使用成本低，制造工艺简单方便，发电效率高，适应性好，节能环保，安全可靠。

主权项

一种新型微型热电发生器，在所述热电发生器的截面上，包括基板（1）；其特征是：所述基板（1）内设有若干贯通基板（1）的隔热腔（9）；基板（1）一侧表面上设置支撑层（2），所述支撑层（2）上设有若干交替分布的N型热电材料区及P型热电材料区；支撑层（2）上相邻交替分布的N型热电材料区与P型热电材料区通过导电层连接成等电位，并在支撑层（2）上串接形成热电材料体，所述热电材料体的两端均设置电连接的键合电极（11）；热电材料体上淀积有电绝缘层，所述电绝缘层覆盖热电材料体上；电绝缘层上淀积导热层（6），所述导热层（6）的两侧设有隔热部；导热层（6）上设有第一封装体（10），基板（1）对应设置支撑层（2）的另一侧设有第二封装体（20）；所述支撑层（2）包括生长于基板（1）上的氧化硅层及淀积于所述氧化硅层上的氮化硅层。