基于层叠式横向交迭换能器（SLOT）的3轴加速计

摘要

本公开提供了用于制作和使用加速计的系统、方法和装置，包括编码在计算机存储介质上的计算机程序。一些此种加速计包括基板、第一多个电极、第二多个电极、第一锚、框架和检验质量块，其中该第一锚附连至该基板。该基板可基本上在第一平面内延伸。该检验质量块可附连至该框架、可基本上在第二平面内延伸并且可以被基本上约束成用于进行沿第一轴和第二轴的运动。该框架可附连至该第一锚、可基本上在第二平面内延伸并且可以被基本上约束成用于进行沿该第二轴的运动。该检验质量块响应于沿该第一轴或第二轴所施加的横向加速度而进行的横向移动可导致该第一或第二多个电极处的电容变化。

主权项

一种加速计，包括：基板，其基本上在第一平面内延伸；第一多个电极，其基本上沿第一轴形成于所述基板上；第二多个电极，其基本上沿第二轴形成于所述基板上；第一锚，其附连至所述基板；框架，其附连至所述第一锚且基本上在第二平面内延伸，所述框架被基本上约束成进行沿所述第二轴的运动；以及检验质量块，其附连至所述框架且基本上在所述第二平面内延伸，所述检验质量块具有沿所述第一轴延伸的第一多个槽和沿所述第二轴延伸的第二多个槽，所述检验质量块被基本上约束成进行沿所述第一轴以及沿所述第二轴的运动，其中所述检验质量块响应于沿所述第一轴所施加的横向加速度而进行的横向移动导致所述第二多个电极处的第一电容变化，并且其中所述检验质量块响应于沿所述第二轴所施加的横向加速度而进行的横向移动导致所述第一多个电极处的第二电容变化。