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发明名称 Method for deposting a nanocomposite layer on a substrate using chemical vapor deposition
摘要
申请公布号 EP2186922(B1) 申请公布日期 2013.02.27
申请号 EP20090013314 申请日期 2009.10.21
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 FAHLAND, MATTHIAS;VOGT, TOBIAS;GUENTHER, STEFFEN;SCHILLER, NICOLAS
分类号 C23C16/30;C04B14/38;C23C16/448;C23C16/509;C23C16/54 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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