| 发明名称 | 一种工作用真空计校准装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种工作用真空计校准装置及方法，属于测量领域。所述装置包括：供气系统、微调阀、标准真空计、标准容器、小孔、波纹管截止阀、校准室、工作用真空计、机械泵、隔断阀、分子泵、全金属插板阀。所述装置延伸了工作用真空计的校准下限，降低了测量不确定度，提高了校准精度，解决了真空度在1×10-4Pa～1×10-1Pa范围内工作用真空计的校准。 | ||
| 申请公布号 | CN102944357A | 申请公布日期 | 2013.02.27 |
| 申请号 | CN201210451002.3 | 申请日期 | 2012.11.12 |
| 申请人 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 | 发明人 | 孙雯君;冯焱;成永军;赵澜;盛学民 |
| 分类号 | G01L27/00(2006.01)I | 主分类号 | G01L27/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人 | 杨志兵;付雷杰 |
| 主权项 | 一种工作用真空计（8）校准装置，其特征在于：所述装置包括：供气系统（1）、微调阀（2）、标准真空计（3）、标准容器（4）、小孔（5）、波纹管截止阀（6）、校准室（7）、工作用真空计（8）、机械泵（9）、隔断阀（10）、分子泵（11）、全金属插板阀（12）；供气系统（1）、微调阀（2）、标准容器（4）、小孔（5）、波纹管截止阀（6）、校准室（7）、工作用真空计（8）依次相连，标准真空计（3）与标准容器（4）相连，机械泵（9）与标准容器（4）相连，分子泵（11）通过全金属插板阀（12）与校准室（7）相连，隔断阀（10）一端与机械泵（9）相连，另一端与分子泵（11）相连。 | ||
| 地址 | 730000 甘肃省兰州市城关区渭源路97号 | ||