一种行星运动式研磨装置

摘要

本发明公开了一种行星运动式研磨装置，属于精密机械制造技术领域，所要解决的技术问题是克服现有机械研磨技术的不足，提供一种能实现定量材料去除、运转平稳、去除函数稳定的研磨装置，包括接口面板、公转机构、偏心调节机构、主座体、平动保持机构、回转机构、自转机构、压力施加机构、研磨盘机构，所述公转机构提供公转运动，所述自转机构提供自转运动及研磨盘的轴向自由浮动，所述偏心调节机构实现公转半径的调节，所述平动保持机构保证主座体、回转机构、自转机构、压力施加机构、研磨盘机构在公转运动中平稳平动，并辅助支承装置重力，所述压力施加机构用于施加研磨压力，所述研磨盘机构可保证研磨盘能在任意方向小角度倾斜。

主权项

一种行星运动式研磨装置，其特征在于包括：公转机构（1）、偏心调节机构（2）、平动保持机构（3）、自转机构（4）、压力施加机构（5）、研磨盘机构（6）、接口面板（7）、主座体（8）和回转机构（9）；所述公转机构（1）连接在接口面板（7）上；所述偏心调节机构（2）连接在公转机构（1）下端，公转轴系（13）法兰上；所述平动保持机构（3）位于偏心调节机构（2）外面，连接在接口面板（7）及主座体（8）上，所述平动保持机构（3）包括X向导杆（31）、Y向导杆（32）、轴承座（33）和直线轴承（34），所述X向导杆（31）连接在主座体（8）上，X向导杆（31）与轴承座（33）之间设有直线轴承（34），所述轴承座（33）经直线轴承（34）连接Y向导杆（32），所述Y向导杆（32）固定在接口面板（7）上，位于X向导杆（31）上方；所述轴承座（33）通过直线轴承（34）在Y向导杆（32）上往复运动，所述X向导杆（31）通过直线轴承（34）在轴承座（33）内往复运动，所述X向导杆（31）、Y向导杆（32）在空间内相互垂直；所述回转机构（9）连接在偏心调节机构（2）下端的下燕尾（22）上，位于主座体（8）内；所述自转机构（4）位于回转机构（9）下方，连接在主座体（8）上；所述自转机构（4）包括自转电机（41）、同步带轮机构（42）、固定轴（43）、滚动铰链（44）、浮动轴（45）、直线轴承（46）、滚动轴承（47），所述自转电机（41）固定在主座体（8）上，所述固定轴（43）由滚动轴承（47）支承在主座体（8）内；所述同步带轮机构（42）连接自转电机（41）与固定轴（43），可用齿轮机构代替，所述滚动铰链（44）连接固定轴（43）与浮动轴（45），所述浮动轴（45）的轴向往复运动由直线轴承（46）导向，所述固定轴（43）与浮动轴（45）的轴向相对运动属于滚动摩擦，所述直线轴承（46）由滚动轴承（47）支承在主座体（8）内；所述压力施加机构（5）连接在自转机构（4）下端，浮动轴（45）上；所述研磨盘机构（6）连接在压力施加机构（5）下端。