热式流量测量装置

摘要

本发明提供一种热式流量测定装置，其具有弯曲的副通路且厚度方向尺寸小。在分离壁两侧形成第一副通路部(10A)和第二副通路部(10B)，在如下范围构成第三副通路部(10C)的直线通路部：与流动于该直线通路部的流体流动方向垂直的横截面，在与分离第一副通路部的层和第二副通路部的层的分离壁的壁面垂直的方向上相对于该分离壁跨两侧；连通第一副通路部和第三副通路部的第一连通通路部(10AC)描绘曲线而改变方向，由倾斜面连接由分离壁构成的第一副通路部的通路壁面和相对于分离壁位于第二副通路侧的第三副通路部的侧壁，在连通第二副通路部和第三副通路部的第二连通通路部(10BC)上具有贯通分离壁的贯通路(10C2)。

主权项

一种热式流量测量装置，其具有：副通路，其吸收流动于主通路的流体的一部分；板状电路基板；以及传感器元件，其被搭载在所述板状电路基板的表面侧，并被设置在所述副通路内来检测流体的流量，所述热式流量测定装置的特征在于，所述副通路由第一板状部件、在所述第一板状部件的表面侧设置的第二板状部件及在所述第一板状部件的背面侧设置的第三板状部件构成，且所述副通路具有：由所述第一板状部件的表面和所述第二板状部件构成通路侧壁面的第一副通路；由所述第一板状部件的背面和所述第三板状部件构成通路侧壁面的第二副通路；以及被设置成连通所述第一板状部件的表面和背面并连通连接所述第一副通路和所述第二副通路的第三副通路，所述第一副通路具有吸收流动于所述主通路的流体的一部分的入口部、弯曲部，所述第二副通路具有弯曲部、将从所述入口吸收的流体排出的出口部，在所述第三副通路内配置有所述传感器元件，所述板状电路基板被配置成搭载有所述传感器元件的面朝向所述第三板状部件一侧，所述传感器元件配置在所述第三副通路的相对于所述第一板状部件而言的背面侧。