一种接触式电容微加速度传感器

摘要

本发明公开了一种接触式电容微加速度传感器，包括衬底、固定支撑、衬底电极、敏感薄膜、绝缘薄膜、微梁和惯性质量块。固定支撑的上、下两端分别设有衬底，两个衬底内侧设有衬底电极，其上覆盖绝缘薄膜；惯性质量块通过四根微梁悬挂于固定支撑的中部，惯性质量块的上、下两侧设有与其接触的敏感薄膜；固定支撑上、下的衬底电极与对应端的敏感薄膜对应。在加速度测量中，惯性质量块通过敏感薄膜始终与衬底电极保持“接触”，能承受比非接触式电容微加速度传感器更大的载荷和冲击力，抗过载能力强；传感器通过在大于接触载荷状态下敏感薄膜与绝缘薄膜接触面积的变化所引起的电容变化来测量加速度，较之变间距式电容微加速度传感器线性度更好。

主权项

一种接触式电容微加速度传感器，其特征在于：包括衬底（1）、固定支撑（2）、衬底电极（3）、绝缘薄膜（4）、敏感薄膜（5）、微梁（6）和惯性质量块（7）；所述固定支撑（2）的上、下两端分别设有水平布置的衬底（1），上端的衬底（1）和下端的衬底（1）相互平行，两个衬底（1）的内侧均制作有衬底电极（3），衬底电极（3）上覆盖有绝缘薄膜（4）；所述惯性质量块（7）通过其周边对称均布的四根微梁（6）悬挂于固定支撑（2）的中部，惯性质量块（7）的上、下两侧水平设有与其接触的敏感薄膜（5），敏感薄膜（5）的周边固定在固定支撑（2）上；所述固定支撑（2）上部的衬底电极（3）位于惯性质量块（7）的正上方，固定支撑（2）下部的衬底电极（3）位于惯性质量块（7）的正下方。