发明名称 | 真空工具镀膜的阴极电弧装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种真空工具镀膜的阴极电弧装置,其包括靶材等元件,靶材与冷水座连接,辅助阳极通过支撑柱固定在法兰板的一面上,第一密封O型圈位于法兰板的上方,绝缘板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之间,螺钉绝缘套套在第一内六角螺钉上,冷水座通过第一内六角螺钉固定在法兰板的另一面上,接线座的一端位于冷水座上,螺母与第二内六角螺钉连接,水嘴接头位于电磁线圈的一侧,电磁线圈通过第一盘头螺钉与冷水座固定,电磁线圈骨架位于电磁线圈的上方,防护罩通过第二盘头螺钉与电磁线圈骨架固定,引弧极压紧在气动引弧机构上,引弧极位于靶材的下方。本实用新型结构简单,且保证靶材的均匀刻蚀性。 | ||
申请公布号 | CN202755049U | 申请公布日期 | 2013.02.27 |
申请号 | CN201220359276.5 | 申请日期 | 2012.07.23 |
申请人 | 上海法德机械设备有限公司 | 发明人 | 王叔晖;刘竹杨 |
分类号 | C23C14/32(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/32(2006.01)I |
代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人 | 胡美强 |
主权项 | 一种真空工具镀膜的阴极电弧装置,其特征在于,其包括靶材、辅助阳极、支撑柱、法兰板、第一密封O型圈、绝缘板、第二密封O型圈、冷水座、螺钉绝缘套、第一内六角螺钉、接线座、螺母、第二内六角螺钉、水嘴接头、第一十字盘头螺钉、电磁线圈、电磁线圈骨架、防护罩、第二十字盘头螺钉、气动引弧机构、引弧极,靶材与冷水座连接,辅助阳极通过支撑柱固定在法兰板的一面上,第一密封O型圈位于法兰板的上方,绝缘板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之间,螺钉绝缘套套在第一内六角螺钉上,冷水座通过第一内六角螺钉固定在法兰板的另一面上,接线座的一端位于冷水座上,螺母与第二内六角螺钉连接,水嘴接头位于电磁线圈的一侧,电磁线圈通过第一十字盘头螺钉与冷水座固定,电磁线圈骨架位于电磁线圈的上方,防护罩通过第二十字盘头螺钉与电磁线圈骨架固定,引弧极压紧在气动引弧机构上,引弧极位于靶材的下方。 | ||
地址 | 201616 上海市松江区小昆山镇崇南南路2号 |