| 发明名称 | 一种调节真空磁控辉光均匀性的装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种调节真空磁控辉光均匀性装置，该装置包括长度调节机构、辉光均匀控制机构、辉光均匀机构，所述长度调节机构与所述辉光均匀控制机构配合以控制所述辉光均匀机构调节所述辉光的均匀性。本实用新型的有益效果包括可以在真空环境下操作，不用回气操作，降低了成本，并节约人力物力；可以精确调节辉光均匀性。 | ||
| 申请公布号 | CN202755050U | 申请公布日期 | 2013.02.27 |
| 申请号 | CN201220378188.X | 申请日期 | 2012.08.01 |
| 申请人 | 天津南玻节能玻璃有限公司 | 发明人 | 王旭升;王烁;童帅 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人 | 孙春玲 |
| 主权项 | 一种调节真空磁控辉光均匀性装置，包括长度调节机构、辉光均匀控制机构、辉光均匀机构，所述长度调节机构与所述辉光均匀控制机构配合以控制所述辉光均匀机构调节所述辉光的均匀性。 | ||
| 地址 | 301799 天津市武清区武清开发区福源道68号 | ||