气体输送系统

摘要

本实用新型涉及半导体制造装置，尤其是一种气体输送系统，它包括连接至气源的气体入口、连接至反应腔的气体出口；连接于气体入口与气体出口之间的过滤器；连接于过滤器与气体出口之间的流量控制阀；连接于过滤器与流量控制阀之间的止回阀。本实用新型的优点是：止回阀能够阻挡返流气体，使得返流气体不会对过滤器造成影响，能够保证过滤器的性能不受影响，一方面降低由于更换过滤器带来的成本增加，另一方面确保后续生产中气体的纯净，使得其局部放电性能不受影响，保证生产的成品率。

主权项

一种气体输送系统，包括连接至气源的气体入口、连接至反应腔的气体出口；连接于气体入口与气体出口之间的过滤器；连接于过滤器与气体出口之间的流量控制阀；其特征在于，该气体输送系统还包括连接于过滤器与流量控制阀之间的止回阀。