| 发明名称 | 一种石墨框承载装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种石墨框承载装置，包括承载板本体和至少2个挂钩；所述承载板本体的四周与石墨框的网格配合，承载板本体上设有通孔；通孔的内边上均匀分布有所述挂钩。本实用新型设计得到了一种新的石墨框承载装置，承载板本体上设有通孔，专门用来放置实验样片（如抛光片和石英片），从而满足对氮化硅薄膜特性的研究。 | ||
| 申请公布号 | CN202758857U | 申请公布日期 | 2013.02.27 |
| 申请号 | CN201220367380.9 | 申请日期 | 2012.07.27 |
| 申请人 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯（中国）投资有限公司 | 发明人 | 张春华;周剑;向宏伟;李栋;高文丽;孟祥熙;辛国军 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人 | 陶海锋;陆金星 |
| 主权项 | 一种石墨框承载装置，其特征在于：包括承载板本体(13)和至少2个挂钩(12)；所述承载板本体的四周与石墨框的网格(11)配合，承载板本体上设有通孔(14)；通孔的内边上均匀分布有所述挂钩。 | ||
| 地址 | 215129 江苏省苏州市苏州高新区鹿山路199号 | ||