θZ 驱动装置和载物台装置

摘要

在该θZ驱动装置（110）中，以能够沿Z方向、θx方向以及θy方向驱动载物台（30）的方式配置至少3个线圈部（43a、43b以及43c），所述θx方向是以水平面内的X方向为旋转中心线的旋转方向，所述θy方向是以水平面内的与X方向正交的Y方向为旋转中心线的旋转方向。

主权项

一种θZ驱动装置，其中，所述θZ驱动装置具备：基座部；载物台，其相对于所述基座部沿θz方向和作为上下方向的Z方向被驱动，所述θz方向是以Z方向为旋转中心线的旋转方向；以及一个致动器，其相对于所述基座部至少沿Z方向驱动所述载物台，所述一个致动器包括：可动件，其具有多个永久磁铁；和固定件，其设置成沿水平方向与所述永久磁铁对置，并具有用于沿Z方向驱动所述载物台的Z方向驱动用线圈，所述一个致动器的Z方向驱动用线圈被分割成至少3个线圈部，所述至少3个线圈部能够互相独立地供给电流，并且，所述至少3个线圈部配置成能够沿Z方向、θx方向以及θy方向驱动所述载物台，所述θx方向是以水平面内的X方向为旋转中心线的旋转方向，所述θy方向是以水平面内的与所述X方向正交的Y方向为旋转中心线的旋转方向。