| 发明名称 | 微机电装置及其应用 | ||
| 摘要 | 微机电装置具有：适于制造微电子组件的衬底（1），尤其是半导体衬底。微机械组件集成到衬底（1）中，所述微机械组件具有能够可逆地弯曲的弯曲元件（4），该弯曲元件具有与衬底（1）连接的第一端部（34），并且从该第一端部（34）出发通过自由空间（3）延伸。弯曲元件（4）具有至少一个接片（8），该接片带有两个侧边缘，所述侧边缘的走向（35）通过与侧边缘邻接的、引入弯曲元件（4）中的凹处（6）来限定。为了形成在接片（8）内的均匀区域，从弯曲元件（4）的第一端部（34）出发来观察，接片（8）的侧边缘的相互距离减小，其中在所述均匀区域中在将弯曲元件（4）弯曲时出现的机械应力基本上大小相同。此外，该装置具有对于机械应力敏感的至少一个微电子组件（36），所述微电子组件在接片（8）的均匀区域内集成在其中。 | ||
| 申请公布号 | CN102947216A | 申请公布日期 | 2013.02.27 |
| 申请号 | CN201180016329.1 | 申请日期 | 2011.03.15 |
| 申请人 | 艾尔默斯半导体股份公司;硅微结构有限公司 | 发明人 | 贝恩德·伯查德;迈克尔·德勒;周宁宁 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人 | 周涛;许伟群 |
| 主权项 | 一种微机电装置，具有：－适于制造微电子组件的衬底（1），尤其是半导体衬底，－集成到衬底（1）中的微机械组件，所述微机械组件具有能够可逆地弯曲的弯曲元件（4），该弯曲元件具有与衬底（1）连接的第一端部（34），并且从该第一端部（34）出发通过自由空间（3）延伸，－其中弯曲元件（4）具有至少一个接片（8），所述接片带有两个侧边缘，所述侧边缘的走向（35）通过与所述侧边缘邻接的、引入弯曲元件（4）中的凹处（6）来限定，以及－其中为了形成在所述接片（8）内的均匀区域，从弯曲元件（4）的第一端部（34）出发来观察，所述接片（8）的侧边缘的相互距离减小，其中在所述均匀区域中在将弯曲元件（4）弯曲时出现的机械应力基本上大小相同，以及－对于机械应力敏感的至少一个微电子组件（36），所述微电子组件在所述接片（8）的均匀区域内集成在所述接片（8）中。 | ||
| 地址 | 德国多特蒙德 | ||