| 主权项 |
一种压电驱动电容检测双轴陀螺仪，其特征在于包括：陀螺振子，支撑圆柱，压电薄膜驱动电极，上极板，下极板，上极板信号检测电极以及下极板信号检测电极；所述陀螺振子为圆盘状，陀螺振子上表面设有压电薄膜驱动电极，陀螺振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在下极板上，下极板固定在载体上，上极板信号检测电极位于上极板下端面，下极板信号检测电极位于下极板上端面，上极板、下极板和陀螺振子装配形成差分电容用于检测输出信号；所述陀螺振子上表面的压电薄膜驱动电极在圆盘上的分布关于振子上表面圆心对称；关于圆心对称的两对压电薄膜驱动电极的中心连线经过圆盘状陀螺振子上表面圆心，分别为上表面第一中心线和上表面第二中心线，上表面第一中心线和上表面第二中心线垂直；关于圆心对称的两对所述上极板信号检测电极的中心连线经过上极板下端面圆心，分别为上极板下端面第一中心线和上极板下端面第二中心线，上极板下端面第一中心线和上极板下端面第二中心线垂直；关于圆心对称的两对下极板信号检测电极的中心连线经过下极板上端面圆心，分别为下极板上端面第一中心线和下极板上端面第二中心线，下极板上端面第一中心线和下极板上端面第二中心线垂直；上极板下端面第一中心线、下极板上端面第一中心线和陀螺振子上表面第一中心线平行且位于同一平面内；上极板下端面第二中心线、下极板上端面第二中心线和陀螺振子上表面第二中心线平行且位于同一平面内；上极板信号检测电极和圆盘状陀螺振子，下极板信号检测电极和圆盘状陀螺振子构成差分电容。 |
