气体管路恒温装置

摘要

本实用新型涉及一种气体管路恒温装置，包括装填有循环液体的水槽、冷却管组、设置在水槽内的气体管路及加热器、设置在气体管路上的第一温度传感器、电性连接第一温度传感器及加热器的温度控制器。本实用新型所提供的气体管路恒温装置，其循环液体自水槽流出并予以冷却后再流入水槽，并与气体管路中的气体进行热交换，借此提供恒定温度的气体，以送入储放半导体元件的载具内而使半导体元件处在一定温度的载具中，进而维持制程的合格率。

主权项

一种气体管路恒温装置，其特征在于，所述气体管路恒温装置包括:一水槽，其装填有一循环液体，且所述水槽设有一入水口、一出水口、一进气口及一出气口；一冷却管组，其包括连接所述出水口的一第一管路及连接所述入水口的一第二管路；一气体管路，其设置在所述水槽内，所述气体管路一端连接所述进气口，而所述气体管路另一端连接所述出气口，且所述气体管路中流通有一气体；一第一温度传感器，其设置在所述气体管路上；一加热器，其设置在所述水槽内；以及一温度控制器，其电性连接所述第一温度传感器及加热器。