一种极高真空规校准装置及方法

摘要

本发明公开了一种极高真空规校准装置及方法，属于测量领域。所述装置包括：极高真空规、极高真空校准室、第一阀门、被校真空规、小孔、第二阀门、第三阀门、高精度真空规、极高真空抽气室、极高真空抽气机组、限流孔、稳压室、非蒸散型吸气剂泵、气源、微调阀、流量计抽气机组和第四阀门，外围设备包括加热装置。采用所述装置及方法测量不确定度小，能够实现在小于10-9Pa压力区间对极高真空规的精确校准，拓宽了流量测量范围。

主权项

一种极高真空规校准装置，其特征在于：所述装置包括：极高真空规（1）、极高真空校准室（2）、第一阀门（3）、被校真空规（4）、小孔（5）、第二阀门（6）、第三阀门（7）、高精度真空规（8）、极高真空抽气室（9）、极高真空抽气机组（10）、限流孔（11）、稳压室（12）、非蒸散型吸气剂泵（13）、气源（14）、微调阀（15）、流量计抽气机组（16）和第四阀门（17），外围设备包括加热装置；其中，极高真空抽气机组（10）与极高真空抽气室（9）相连，极高真空抽气室（9）与极高真空校准室（2）连在一起，极高真空抽气室（9）与极高真空校准室（2）中间有一个限流孔（11），极高真空规（1）和被校真空规（4）直接和极高真空校准室（2）相连，极高真空校准室（2）、第一阀门（3）、小孔（5）、高精度真空规（8）依次相连；第二阀门（6）并联接在小孔（5）的两端；稳压室（12）连接到小孔（5）与高精度真空规（8）之间的管路中，非蒸散型吸气剂泵（13）通过第三阀门（7）连接到小孔（5）与高精度真空规（8）之间的管路中，流量计抽气机组（16）通过第四阀门（17）连接到小孔（5）与高精度真空规（8）之间的管路中，气源（14）通过微调阀（15）连接到小孔（5）与第四阀门（17）之间的管路中。