用于高功率激光装置的光路准直集成装置及准直方法

摘要

一种用于高功率激光装置的光路准直集成装置及准直方法，它是在空间滤波器小孔面附近放置一块刻有基准的透射光栅；用发光二极管和照明准直透镜产生的平行非相干照明光源，以特定角度照射透射光栅；把取样光路置于透射光栅的一级衍射光方向构成光束信息监测器，该光束信息监测器同时获取光束的近场和远场信息，光束信息检测器的输出接到计算机上，通过图像处理技术确定光束的近场和远场相对于各自设定位置的偏差值，根据各自的偏差值选择对应的近场和远场调整器件，调节光路准直。本发明具有集成化、模块化、结构简单和精度高的特点，能满足高功率激光装置对于大口径光束准直的监测需求。

主权项

一种用于高功率激光装置的光路准直集成装置，其特征是该装置包括取样光栅（202）、照明光源（204）、导光单元（208）、分光镜（209）、近场监测单元（213）和远场监测单元（214），上述元部件的位置关系如下：在位于主激光光束（102）光路上的空间滤波器（107）的滤波小孔板（201）前插入一块取样光栅（202），设置照明光源（204），该照明光源（204）由发光二极管（502）和准直透镜（501）构成，当所述的照明光源（204）发出的照明光束（203）的入射角与主激光光束（102）的入射角和所述的取样光栅（202）满足一定关系时，所述的照明光束（203）与主激光光束（102）经所述的取样光栅（202）产生的衍射光的方向相同；在所述的衍射光方向依次设置取样物镜（503）和导向反射镜（504）构成所述的导光单元（208），在该导向反射镜（504）的反射光方向设置分光镜（209），该分光镜（209）将入射的衍射光分为反射光束（215）和透射光束（210），在所述的反射光束（215）方向设置远场监测单元（214），该远场监测单元（214）由远场成像目镜（507）和远场CCD（506）构成，在所述的透射光束（210）方向设置近场CCD（505），构成近场监测单元（213）；所述的远场监测单元（214）、分光镜（209）和导光单元（208）组成的成像系统的物面位于所述的取样光栅（202）上，利用所述的远场CCD（506）对光栅面成像，用于监测主激光焦斑（406）相对于远场基准（405）的偏差，实现远场监测；所述的近场监测单元（213）、导光单元（208）、取样光栅（202）以及空间滤波器（107）的输入透镜（206）组成的近场成像系统的物面位于主激光光束的近场像传递面（205）上。