sistema de detecÇço para detectar locais de luminescÊncia sobre um substrato, compensador àptico, mÉtodo para detectar locais de radiaÇço sobre um substrato, mÉtodo baseado em computador para projetar um compensador àptico, produto de programa de computador, dispositivo de armazenagem de dados legÍveis por mÁquina, e, transmissço do produto de programa de computador

摘要

SISTEMA DE DETECÇçO PARA DETECTAR LOCAIS DE LUMINESCÊNCIA SOBRE UM SUBSTRATO, COMPENSADOR àPTICO, METODO PARA DETECTAR LOCAIS DE RADIAÇçO SOBRE UM SUB STRATO, METODO BASEADO EM COMPUTADOR PARA PROJETAR UM COMPENSADOR àPTICO, PRODUTO DE PROGRAMA DE COMPUTADOR, DISPOSITIVO DE ARMAZENAGEM DE DADOS LEGÍVEIS POR MÁQUINA, E, TRANSMISSçO DO PRODUTO DE PROGRAMA DE COMPUTADOR. É descrito um sistema de detecção (100) para detectar locais de luminescência sobre um substrato (6). O sistema de detecção (100) compreende tipicamente uma unidade de irradiação (102) para gerar pelo menos um feixe de irradiação por excitação para excitar locais de luminescência no substrato (6). O pelo menos um feixe de irradiação por excitação pode ser constituídos de diversos feixes de irradiação por excitação. O sistema de detecção (100) também compreende um primeiro elemento óptico, por exemplo, elemento refrativo (25), adaptado para receber pelo menos dois feixes de irradiação de comprimentos de onda ou faixa de comprimento de onda diferentes, os pelo menos dois feixes de irradiação sendo feixe(s) de irradiação por excitação a serem focalizados em um substrato e/ou feixe(s) de irradiação por luminescência a serem coletados dos locais de luminescência excitados no substrato (6). O sistema de detecção (100) também compreende um compensador óptico para ajustar pelo menos um dos pelo menos dois feixes de irradiação de comprimentos de onda ou faixa de comprimento de onda diferentes, de modo a reduzir ou compensar quanto a aberrações ópticas. A presente invenção também se relaciona a um método correspondente para detecção, uma placa de fase e um método para projetar tal placa de fase.