发明名称 SUBSTRAT DÉMONTABLE, PROCÉDÉS DE FABRICATION ET DE DÉMONTAGE D'UN TEL SUBSTRAT
摘要
申请公布号 FR2965396(B1) 申请公布日期 2013.02.22
申请号 FR20100057852 申请日期 2010.09.29
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 BRUEL MICHEL
分类号 H01L21/20;H01L21/324;H01L21/762;H01L27/02 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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