| 摘要 |
一种奈米碳管阵列传感器，其包括：一第一电极；一第二电极；一设置于第一电极与第二电极之间的奈米碳管阵列，所述奈米碳管阵列包括多个奈米碳管，且所述奈米碳管阵列包括第一端和与该第一端相背的一第二端；至少一第一导电金属层，该第一电极与奈米碳管阵列的第一端通过该第一导电金属层电连接；至少一第二导电金属层，该第二电极与奈米碳管阵列的第二端通过该第二导电金属层电连接；另，该奈米碳管阵列的第一端沈积有一第一亲金属层，该第一亲金属层与上述第一导电金属层接触并电连接，该奈米碳管阵列的第二端沈积有第二亲金属层，该第二亲金属层与上述第二导电金属层接触并电连接。本发明还提供一种制备该奈米碳管阵列传感器的方法。 |
