用于具有引线的积体电路装置之检查的方法及系统

摘要

本发明有关诸如QFP及TSOP装置等积体电路装置之光学检查。提供利用被定向在一固定方向中的单一雷射三角测量系统来检查诸如积体电路装置等物体之方法，其中给定的检查系统系旋转检查托板以在不同方向扫描放置于其中之物体。