| 摘要 |
一种用于在一积体电路(IC)测试器与形成于一待测晶圆上之IC之表面上的输入/输出、功率及接地衬垫之间提供信号路径的晶圆探针头组件，其包括一配接器板及一探针卡组件，该探针卡组件包括：一空间转换器及一接触器承载基板，其具有一大体上平坦之底面且该底面上形成有印刷或电镀式电路迹线；及复数个接触器，其电镀至该等迹线或以光微影方式形成于该等迹线上且经配置以同时欧姆啮合一测试中晶圆上之一或多个IC的接触衬垫。该等接触器可包括附接至该等信号载运电路迹线或与其形成一体的弹性支撑结构。该探针卡组件亦可包括一或多个基板层且电路迹线及通路形成于该等基板层上及/或该等基板层内以促进该测试器之连接。 |
