旋转式靶组件

摘要

[课题]本发明是关于一种利用热传导性良好的冷却插入构件，使旋转辊与溅镀靶部接合而成之旋转式靶组件。;[解决手段]有关本发明的一实施型态的旋转式靶组件，系包含中空状的一旋转辊、形成于该旋转辊外周的一溅镀靶部、以及介于该旋转辊与该溅镀靶部之间而其热传导率大于该溅镀靶部之一冷却插入构件。