绝缘配管构件，气体供给装置及离子束装置

摘要

本发明之目的在于提供一种绝缘配管构件，其可将气体源设置于低电压部分之同时，可缩短离子束装置之停机时间，且减小绝缘管之放电可能性。并且，提供一种包括此种绝缘配管构件的气体供给装置及离子束装置。;本发明解决手段在于绝缘配管构件10为用于自接地部将处理气体供给至高电压部之配管系统。将作为处理气体之路径的绝缘管11、及用来收容该绝缘管11的绝缘性冲洗箱12加以组合，而于冲洗箱12上，设置无害之冲洗气体的供给部及排出部。