探针装置

摘要

本发明系一种探针装置，其课题在于防止偏位载重作用于电极与接触子之间，而能进行准确的测试。;探针装置中，分别利用第一及第二密封件，而使检查载台之夹头顶部与由卡台支撑的探针卡之间的第一空间、及探针卡与由卡台支撑的性能板之间的第二空间自外部维持气密，且使第一空间及第二空间可分别经由第一及第二排气路而排气，将配置于性能板之下侧的中间体抵接于探针卡及性能板两者。