反射式膜厚量测方法

摘要

一种反射式膜厚量测方法系先读取以宽频光源经过量测系统而量测薄膜的原始光谱影像、将此原始光谱影像转换为宽频反射率波长函数后再转换为宽频频域函数，再将此宽频频域函数除以单波长频域函数，以取得一理想频域函数后，再将之反转换为理想反射率波长函数，之后再将理想反射率波长函数与反射率波长厚度通式进行曲线拟合，即得到薄膜之厚度；光谱影像空间轴方向处理方法则以反回旋积方式将光学像差消除，以得到高空间解析度之光谱影像。