| 摘要 |
一种真空线性引入装置，其系装设于一真空腔体之开口，且于该开口处固设一座体，该座体并设有贯通之轴孔，以供穿设一可作轴向线性滑移之轴杆，且该座体之轴孔与轴杆间装设有密封环，以供密封真空腔体，另该轴杆之一端设有连接动力源之第一连结部，且于内部设有供循环流通冷却水之槽道，而穿伸于真空腔体内部之另端则设有具电引入接头之第二连结部，以供连接工作治具，而以该轴杆将动力引入真空腔体内，并以该轴杆传导工作电流至电引入接头，以进行真空制程；藉此，利用流通冷却水之轴杆，即可于传导工作电流时进行散热，以防止密封环受热而老化损坏，并确保密封真空腔体，而达到降低设备成本之实用效益。 |
