量测校准装置及其辅助台座

摘要

一种量测校准装置及其辅助台座，该辅助台座主要系以叠层的方式分别设有基座、第一平台以及第二平台，该基座系以磁吸或锁设的方式固定于机台之工作台上，于基座的上方则以第一方向滑轨架设第一平台，并于基座与第一平台间设有第一位移驱动机构，以驱动第一平台作第一方向的位移，另于第一平台的上方以第二方向滑轨架设第二平台，并于第一平台与第二平台间设有第二位移驱动机构，以驱动第二平台作第二方向的位移；藉此，将量测校准装置固定于第二平台上进行误差量测作业时，可利用第一平台或第二平台的位移，辅助进行雷射光束的光路调校，进而达到易于操作且快速准确调校之目的。