薄膜光学检测装置

摘要

一种薄膜光学检测装置，适于检测一薄膜制品，此薄膜光学检测装置至少包括多波长光源、分光准直模组、多通道极化旋转模组、多通道相位延迟模组、合光准直模组、偏极化模组以及影像光谱仪。多波长光源提供具有多个波段之光束至分光准直模组，而分光准直模组适于将光束分为多个具有对应波段之次光束。多通道极化旋转模组适于分别调整这些次光束偏振之方位角，而多通道相位延迟模组适于分别调整这些次光束之相位延迟量或是相位延迟的方位角。合光准直模组适于将这些次光束合为聚合光束后入射薄膜制品，而偏极化模组适于检偏限制聚合光束不同偏振态之穿透量，且影像光谱仪适于接收聚合光束呈多波长影像。