摘要 |
本发明所致之层积接合装置用治具,系具备有对位部分与支持部份。该对位部分,系被形成有与对位对象基板之边缘相接触的对位面。该支持部分,系被形成有与将接合对象基板作保持之夹具相接触的夹具接触面。该夹具,系在与该夹具接触面相接触之面上,被形成有第1嵌合部份。该支持部分,系进而在该夹具接触面上被形成有第2嵌合部份。此时,该层积接合装置用治具,系以使该第1嵌合部份与第2嵌合部份相嵌合的方式而被作配置,并藉由以使该对位对象基板之边缘与该对位面相接触的方式来配置该对位对象基板,而能够将该对位对象基板更加容易地配置在特定之位置处。 |